Параметр | Значение |
Общая ошибка формы поверхности, N (Lambda=632.8 нм) | N=1 (Lambda/2 на св. ø 25.4 мм) |
Класс чистоты полированной поверхности | P III |
Допуск на размеры | +/- 0.1 мм |
Допуск на угол | +/- 5 минут (более высокая точность по спец. запросу) |
Допуск на пирамидальность | +/- 5 минут |
Фаска | (0.2-0.4) мм x 45° |
Обычно монокристалл кремния Si используется для изготовления ИК оптики: Si плоскопараллельных пластин (окон) и Si линз в спектральном диапазоне (3 – 5) мкм, а также подложек для производства лазерных зеркал. Лазерные зеркала на кремниевой подложке легкие и обладают хорошей теплопроводностью. Кроме того, большие блоки материала с полированными торцами используют в качестве мишеней в нейтронной физике.
Но фактически монокристалл кремния Si может использоваться в ИК оптике в области спектра (1.2- 20.0) мкм и более. Конкретная спектральная характеристика пропускания монокристаллического кремния зависит от типа проводимости, сопротивления и технологии изготовления материала.
Монокристаллический кремний выращивается методом Чохральского (CZ) и содержит некоторое количество кислорода, который вызывает полосы поглощения около длин волн 5.8 мкм, 9.1мкм и 19.4 мкм. Кремний, выращенный методом зонной плавки (FZ), более чистый чем (CZ) материал и имеет слабо выраженные полосы кислородного поглощения.
В общем случае оптический кремний является слабо легированным материалом (удельное сопротивление (5 – 40) Ом•см), что обеспечивает лучшую прозрачность в диапазоне выше 10 мкм. Высокоомный кремний имеет длинноволновую полосу пропускания в диапазоне (30 – 100) мкм.
Спектр пропускания (T) полированного окна из кремния зонной плавки (FZ) толщиной 5 мм в диапазонe (2.5 – 25) мкм; p-проводимость, удельное эл. сопротивление (2.5 – 4.3) кОм*см
Спектр пропускания (T) полированного окна из кремния (Cz) толщиной 6.8 мм в диапазонe (2.5 – 25) мкм
Параметр | Значение |
Плотность | 2.33 г/см3 |
Температура плавления | 1420° C |
Коэффициент теплопроводности | 162.3 Вт/(м K) при 273 К |
Коэффициент термического расширения | 4.15 x 10-6/К |
Твердость по Кнупу | 1150 |
Удельная теплоемкость | 703 Дж/(кг K) |
Диэлектрическая постоянная (f=10 ГГц) | 13 |
Модуль Юнга, E | 131 ГПа |
Модуль сдвига, G | 79.9 ГПа |
Модуль объемной деформации, K | 102 ГПа |
Упругие коэффициенты | C11=167 МПа, C12=65 МПа, C44=80 МПа |
Коэффициент Пуассона | 0.266 |
Параметр | Значение |
Диапазон пропускания | 1.2 - 15 мкм |
Показатель преломления, n | 3.4223 (Lambda= 5 мкм) |
Потери на отражение | 51% (Lambda= 5 мкм, 2 поверхности) |
dn/dT | 160 x 10-6/K |
dn/dµ = 0 | 10.4 мкм |
Коэффициент поглощения | 1 х10-3 см-1, Lambda = 3 мкм |
Параметр | Значение |
Растворимость | В воде не растворим |
Молекулярный вес | 28.09 |
Класс | Кубический, структура алмаза. |
Длина волны, мкм | 1.40 | 1.50 | 1.66 | 1.82 |
Показатель преломления | 3.49 | 3.48 | 3.47 | 3.46 |
Длина волны, мкм | 2.05 | 2.50 | 3.50-5.00 | 6.00-25.00 |
Показатель преломления | 3.45 | 3.44 | 3.43 | 3.42 |
ООО «М-Прогресс» изготавливает оптику из монокристаллического кремния Si: заготовки, окна, призмы, линзы и зеркала для инфракрасного диапазона спектра.
Максимальный диаметр изделий из кремния Si-Cz, выращенного методом Чохральского (CZ), – 300 мм.
Максимальный диаметр изделий из кремния Si-Fz, выращенного методом зонной плавки (FZ), – 100 мм.
Заполняя форму вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соотв. с ФЗ от 27.07.2006 №152-ФЗ на условиях и для целей, определенных политикой конфиденциальности
Заполняя форму вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соотв. с ФЗ от 27.07.2006 №152-ФЗ на условиях и для целей, определенных политикой конфиденциальности